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    超薄晶圓減薄前的鍵合技術總共有幾種?
    2025-09-081115

    由於超薄晶圓減薄後存在易碎,變形和翹曲等問題,所以草莓视频APP下载污在減薄前需要對晶圓進行鍵合處理。鍵合的方式一般有以下幾種:

    1、永久鍵合

    目的是形成不可逆的機械結構結合,多用於3D集成、MEMS、TSV等器件封裝。

    永久鍵合分為沒有中間層的直接鍵合與有中間層的間接鍵合

    1.沒有中間層的直接鍵合

    1)融焊鍵合 / 直接或分子鍵合

    2)銅-銅/氧化物混合鍵合

    3)陽極鍵合

    2.有中間層的間接鍵合

    1)絕緣中間層

    2)金屬中間層

    2、臨時鍵合/解鍵合

    目的是在器件加工中提供臨時支撐,在後續可以去除,常用於60um以下的超薄晶圓處理。

    使用臨時膠或薄膜中間支撐晶圓,將薄晶圓粘接,完成後通過熱/激光/化學方法解鍵合。這是晶圓減薄前最常用也是最成熟的一種方式。

    以上就是半導體行業晶圓鍵合的幾種方法,根據不同材質,不同使用場景來選擇各自合適的鍵合方式。

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